Gia công CNC Thụy Sĩ cho các linh kiện bán dẫn chính xác
43 máy tiện kiểu Thụy Sĩ — CITIZEN A20, A16, BNC40, Tsugami B206 — sản xuất các chân nâng wafer, các tiếp điểm đầu dò, trục cảm biến và các bộ phận ổ cắm thử nghiệm với độ chính xác ±0.005 mm ở đường kính từ Ø0.5 mm.
Vì sao gia công kiểu Thụy Sĩ là quy trình phù hợp
Các linh kiện bán dẫn kết hợp tỷ lệ đường kính trên chiều dài cực kỳ lớn với dung sai ở mức micromet. Gia công cơ khí kiểu Thụy Sĩ giải quyết vấn đề này bằng thiết kế chứ không phải bằng sự thỏa hiệp.
Máy tiện kiểu Thụy Sĩ
- Ống lót dẫn hướng hỗ trợ phôi trong phạm vi 0.5–2 mm so với lưỡi cắt — không có độ lệch đối với các chi tiết dài đến 150 mm.
- Đầu máy trượt cấp liệu theo trục, cho phép gia công liên tục các chi tiết hoàn chỉnh trong một mâm cặp mà không cần phải gắn lại phôi.
- Việc vận hành đồng thời trục chính trước và sau (trục phụ) giúp giảm thời gian chu kỳ và loại bỏ lỗi hiệu chỉnh lại.
- Gia công trực tiếp trên trục C cho phép cắt các lỗ xuyên, rãnh và mặt phẳng mà không cần thao tác phụ — bảo toàn tính toàn vẹn của dữ liệu gốc.
- Hệ thống tự động cấp phôi dạng thanh hỗ trợ sản xuất số lượng lớn với độ lặp lại giữa các lần chạy đạt PPM < 1000
- Dòng chip CITIZEN A20: Ø0.5–25 mm với độ sai số ±0.005 mm — đường kính chân bán dẫn nhỏ nhất hiện đang được sản xuất.
Máy tiện CNC thông thường
- Đầu máy cố định: phôi không được đỡ tại vùng cắt — gây ra hiện tượng lệch và côn trên các trục mảnh.
- Tỷ lệ L/D trên 4:1 yêu cầu giá đỡ đuôi máy, dẫn đến sự dịch chuyển chuẩn và hạn chế khả năng tiếp cận chi tiết.
- Cần thực hiện nhiều lần thiết lập cho các tính năng phía sau — mỗi lần điều chỉnh lại vị trí sẽ làm tăng sai số vị trí ≥ 0.01 mm
- Lực cắt hướng tâm trên phôi thành mỏng hoặc đường kính nhỏ gây ra hiện tượng rung giật, làm giảm chất lượng bề mặt Ra.
- Việc nạp thanh thủ công hạn chế quy mô lô hàng và làm tăng sự khác biệt giữa các thao tác của người vận hành đối với từng bộ phận.
- Đường kính thực tế tối thiểu Ø3–5 mm trước khi việc kiểm soát hình học trở nên không còn chính xác.
Các linh kiện bán dẫn mà chúng tôi sản xuất
Từ các chân dò riêng lẻ đến các cụm phụ xử lý wafer hoàn chỉnh, đội ngũ kỹ thuật viên Thụy Sĩ của chúng tôi xử lý đầy đủ các loại linh kiện chính xác được tìm thấy trong thiết bị bán dẫn.
Chốt nâng wafer & Chốt thang máy
Các chân định vị chính xác giúp nâng hạ các tấm wafer silicon trong buồng xử lý mà không tạo ra hạt bụi hoặc tiếp xúc bề mặt. Rất quan trọng đối với các trạm quang khắc, khắc axit và CVD.
- đường kínhØ1–10 mm
- Dung sai±0.005 mm đường kính ngoài
- Chiều dàiLên đến 150 mm
- Vật liệuSS 303, đầu Al₂O₃, PEEK
- Kết thúcRa ≤ 0.4 μm, được đánh bóng điện hóa
Đầu dò, Pít tông và Thân
Cụm pít tông và thân cho đầu dò lò xo kiểu pogo được sử dụng trong các ổ cắm kiểm tra IC, ổ cắm kiểm tra độ bền và thẻ đầu dò cấp wafer. Độ đồng tâm của lỗ khoan rất quan trọng đối với tuổi thọ lò xo và độ tin cậy của tiếp xúc.
- ODØ0.5–6 mm
- OD tol.± 0.005 mm
- Bore Ra0.2 mm
- Tròn≤ 0.002 mm
- Vật liệuBeCu C17200, Đồng thau C360, SS 303
Trục và trục chính cảm biến chính xác
Trục dài, mảnh mai dùng cho cảm biến đo lường bán dẫn, bàn căn chỉnh và cụm điều khiển chuyển động. Hệ thống bạc dẫn hướng kiểu Thụy Sĩ giúp loại bỏ độ lệch dọc theo toàn bộ chiều dài làm việc.
- đường kínhØ1–25 mm
- Tỷ lệ L / DTối đa 20: 1
- Sự thẳng thắn≤ 0.005mm/100mm
- Vật liệuSS 316L, Ti Gr.5, Invar 36
- Kết thúcRa ≤ 0.8 μm, đã được thụ động hóa
Kiểm tra các chân tiếp xúc của ổ cắm
Các chân tiếp xúc có chu kỳ hoạt động cao dành cho đế cắm kiểm tra ATE và bộ gá kiểm tra độ bền của IC. Đường kính ngoài, đường kính trong và hình dạng đầu chân được kiểm soát đảm bảo điện trở tiếp xúc ổn định và độ lặp lại cơ học trong hơn 500,000 chu kỳ.
- ODØ0.5–3 mm
- Các lựa chọn tiền boaPhẳng, hình vương miện, sắc bén, răng cưa
- Chu kỳ cuộc sống≥ 500,000 chu kỳ giao phối
- MạNi + Au cứng, Pd + Au, Rhodium
- Vật liệuBeCu C17200, Đồng phốt pho C510
Chốt định vị & Chốt định vị
Các chốt định vị độ chính xác cao dùng để căn chỉnh bàn đỡ wafer, đăng ký mặt nạ quang khắc và ghép nối mô-đun thiết bị. Được mài với dung sai h5/h6 và độ trụ được kiểm soát để đảm bảo đăng ký lặp lại chính xác.
- đường kínhØ1–20 mm, h5/h6
- hình trụ≤ 0.002 mm
- Chiều dài5 tầm 120 mm
- Vật liệuThép không gỉ SS 440C, Thép dụng cụ, Cacbua
- Kết thúcRa ≤ 0.2 μm, độ cứng HRC 58+
Các điểm tiếp xúc kết nối và đầu nối sạc xe điện
Các tiếp điểm điện gia công tiện kiểu Thụy Sĩ sản xuất số lượng lớn dùng cho đầu nối thiết bị bán dẫn, quản lý pin xe điện và cấp nguồn cho đầu cuối robot. Các vùng mạ vàng được lựa chọn theo bản vẽ.
- Phạm vi ODØ0.5–20 mm
- Khối lượng50–1 triệu chiếc/tháng
- MạChọn lọc Au / Ni / Ag
- Vật liệuBeCu, Đồng thau, Hợp kim đồng
- Tài liệu tham khảoPOGO PIN, thiết bị đầu cuối EV, cánh tay robot
Thông số kỹ thuật chính xác
Tất cả các giá trị đều được kiểm định chất lượng trên máy CITIZEN và Tsugami kiểu Thụy Sĩ — không phải là kết quả kiểm nghiệm trong phòng thí nghiệm. Việc kiểm tra bằng máy đo tọa độ (CMM) được thực hiện trên mỗi lô hàng đối với các đặc điểm quan trọng.
Dung sai tuyến tính đường kính ngoài/đường kính trong
Khả năng sản xuất tiêu chuẩn; độ chính xác ±0.003 mm có thể đạt được trên các chi tiết có chiều dài ngắn với máy CITIZEN A20/A16.
Đường kính chi tiết tối thiểu
Đạt tiêu chuẩn sản xuất tối thiểu sử dụng thép CITIZEN A20; bạc dẫn hướng giúp loại bỏ độ lệch của các chi tiết mảnh.
Độ trụ và độ tròn
Cực kỳ quan trọng đối với lỗ khoan đầu dò và sự khớp nối của chốt định vị — được kiểm chứng bằng máy đo tọa độ Mitutoyo CMM cho mỗi lô hàng.
Hoàn thiện bề mặt lỗ khoan
Đường kính trong của đầu dò – đạt được nhờ các dụng cụ doa mịn và các bước gia công siêu tinh. Đã được kiểm tra bằng máy đo độ nhám.
Độ thẳng của trục
Các bộ phận cảm biến trục dài; giá đỡ bằng bạc dẫn hướng giúp duy trì vị trí này trên toàn bộ chiều dài làm việc 150 mm.
Độ phân giải đo CMM
Máy đo tọa độ CMM Mitutoyo với độ phân giải 0.001 mm đảm bảo độ không chắc chắn của hệ thống đo luôn nằm dưới mức dung sai cho phép.
Các ứng dụng bán dẫn mà chúng tôi phục vụ
Năng lực gia công CNC của Thụy Sĩ hỗ trợ các khâu đầu nguồn như xử lý wafer, kiểm tra điện tử cấp chip, đóng gói và toàn bộ chuỗi cung ứng thiết bị bán dẫn.
Thiết bị chế biến wafer
Các linh kiện cho các công cụ CVD, PVD, khắc, CMP và xử lý nhiệt — các bộ phận hoạt động trong môi trường chân không, plasma và hóa chất khắc nghiệt.
Kiểm tra thẻ ATE & Probe
Các thẻ đầu dò có số lượng chân cao và thiết bị xử lý kiểm tra tự động (ATE) cho kiểm tra cuối cùng và kiểm tra cấp độ wafer trong các dây chuyền sản xuất 200 mm và 300 mm.
Ổ cắm kiểm tra độ bền và kiểm tra IC
Các ổ cắm thử nghiệm phải duy trì lực tiếp xúc và độ dẫn điện ở nhiệt độ 125–150 °C trong hàng trăm nghìn chu kỳ cắm rút. Các chân tiếp xúc BeCu C17200 được ưu tiên sử dụng.
Robot xử lý wafer
Các bộ phận của robot EFEM, FOUP opener và robot chuyển khí quyển yêu cầu bề mặt không có hạt bụi, vật liệu an toàn ESD và độ lặp lại vị trí cao giữa các chu kỳ hoạt động của cánh tay robot.
Hệ thống đo lường và kiểm tra
Các công cụ đo quang học và CMM dùng cho kiểm soát quy trình thống kê (SPC) trực tuyến và kiểm tra cuối cùng — trục đầu dò cảm biến, các bộ phận chuyển động bàn máy và các chốt mẫu hiệu chuẩn.
Đầu nối thiết bị bán dẫn
Các đầu nối và tiếp điểm điện mật độ cao dùng cho giao tiếp giữa thiết bị và quy trình sản xuất, cung cấp điện trong buồng gia công và hệ thống quản lý pin liền kề xe điện.
Vật liệu cho gia công cơ khí bán dẫn kiểu Thụy Sĩ
Việc lựa chọn vật liệu quyết định hiệu suất điện, nhiệt và cơ khí. Chúng tôi dự trữ và gia công các hợp kim được sử dụng phổ biến nhất trong thiết bị bán dẫn.
Đồng berili C17200 / C17510
Vật liệu chính dùng cho các chân tiếp xúc lò xo và ổ cắm kiểm tra độ bền – có độ đàn hồi tuyệt vời, độ dẫn điện cao và khả năng chống mỏi.
- Độ cứngHRC 36–42 (người cao tuổi)
- Độ dẫn22% IACS (C17200)
- UTS1,100–1,380 MPa
- Lưu ýĐược gia công trước để tạo độ lão hóa; xử lý theo tiêu chuẩn OSHA BeST.
Thép không gỉ 303 / 316L
Lựa chọn tiêu chuẩn cho các chốt nâng, trục và các bộ phận kết cấu — khả năng chống ăn mòn trong môi trường hóa chất ướt và HF.
- Độ cứngHRB 70–85
- UTS520–620 MPa
- Kết thúcĐánh bóng điện hóa, thụ động hóa
- Lưu ýThép không gỉ 316L được ưa chuộng cho môi trường không chứa crom.
Titan lớp 5 (Ti-6Al-4V)
Trục không nhiễm từ, ít phát khí, dùng cho buồng chân không và môi trường EUV, nơi việc kiểm soát trọng lượng và ô nhiễm là rất quan trọng.
- Tỉ trọng4.43 g / cm³
- UTS900 MPa
- Lưu ýHỗ trợ bạc dẫn hướng rất quan trọng đối với Ti
- Kết thúcRa ≤ 0.8 μm, đã được thụ động hóa
Đồng phosphor C510 / C511
Các tiếp điểm lò xo và chân tiếp xúc giá rẻ dùng cho việc kiểm tra độ bền khi vật liệu BeCu được chỉ định vượt mức. Khả năng đàn hồi tốt và tuổi thọ ≥ 200 chu kỳ trong các ổ cắm hoạt động ở mức độ vừa phải.
- Độ dẫn15–20% IACS
- Khí chất mùa xuânCao 170–200
- Chi phí so với BeCu~40% thấp hơn
- MạNi + Au được khuyến nghị
Các tùy chọn hoàn thiện bề mặt và mạ
Từ bản vẽ đến linh kiện hoàn chỉnh
Quy trình sản xuất linh kiện bán dẫn của chúng tôi được thiết kế để đạt chất lượng ngay từ lần đầu tiên — bao gồm đánh giá DFM trước khi cắt, kiểm soát chất lượng thống kê trong quá trình sản xuất và khả năng truy xuất nguồn gốc đầy đủ trên mỗi lô hàng.
Đánh giá yêu cầu báo giá và thiết kế cho nhà sản xuất (RFQ & DFM)
Gửi bản vẽ 2D + file STEP 3D. Các kỹ sư của chúng tôi sẽ xem xét khả năng gia công theo tiêu chuẩn Thụy Sĩ — khe hở giữa bạc dẫn hướng, khả năng tiếp cận chi tiết, tỷ lệ L/D, tổng dung sai — và chỉ ra bất kỳ vấn đề nào về thiết kế để đảm bảo chất lượng trước khi báo giá.
Mua sắm và Chứng nhận Vật liệu
Nguyên liệu thô được đặt hàng từ các nhà máy được chứng nhận với đầy đủ giấy chứng nhận vật liệu. BeCu được xử lý theo quy trình OSHA BeST. Hàng tồn kho được cách ly và kiểm tra bằng XRF trước khi đưa vào sản xuất.
Kiểm tra bài viết đầu tiên (FAI)
Các chi tiết đầu tiên được kiểm tra kích thước 100% bằng máy đo tọa độ CMM so với bản vẽ. Các đặc điểm quan trọng (đường kính ngoài, đường kính lỗ khoan, độ đồng tâm, độ nhám bề mặt Ra) được xác minh trước khi lô sản xuất được phê duyệt.
Kiểm soát quy trình thống kê (SPC) trong sản xuất và trong quá trình sản xuất
Máy tiện Thụy Sĩ cấp phôi thanh thực hiện sản xuất theo lô với việc đo lường tự động trong quá trình sản xuất theo các khoảng thời gian xác định. Biểu đồ SPC giám sát các kích thước quan trọng; nếu vượt quá tầm kiểm soát sẽ kích hoạt việc dừng máy ngay lập tức.
Hoạt động sau gia công
Các công đoạn loại bỏ bavia, đánh bóng siêu mịn, xử lý nhiệt và thụ động hóa được thực hiện nội bộ. Mạ (vàng, niken, palađi, rhodium) được phối hợp với các đối tác mạ đạt tiêu chuẩn — độ dày lớp mạ được kiểm tra bằng XRF trước khi nghiệm thu.
Báo cáo kiểm tra cuối cùng và đo tọa độ (CMM).
Kiểm tra cuối cùng bằng máy đo tọa độ CMM Mitutoyo trên các bộ phận được lấy mẫu theo lô theo tiêu chuẩn AQL. Độ nhám bề mặt, kiểm tra trực quan và kiểm tra chức năng đã hoàn tất. Báo cáo kích thước đầy đủ, chứng nhận vật liệu và chứng nhận mạ được lập cho mỗi lô.
Đóng gói và giao hàng
Các linh kiện được xếp riêng lẻ vào khay hoặc túi trong bao bì chống tĩnh điện. Các linh kiện nhạy cảm với tĩnh điện được đựng trong túi chống tĩnh điện. Các linh kiện sạch (được đánh bóng điện hóa / thụ động hóa) được đóng gói khô trong bao bì đã được bơm khí N₂ theo yêu cầu.
Vì sao các đội ngũ kỹ sư bán dẫn lựa chọn Richconn
Sáu lý do khiến các kỹ sư và đội ngũ mua sắm quay lại — không chỉ vì giá cả.
Khả năng sản xuất đường kính Ø0.5 mm — Đang trong quá trình sản xuất
Dòng máy CITIZEN A20 của chúng tôi đạt độ chính xác ±0.005 mm đối với các chi tiết nhỏ đến Ø0.5 mm trong các lô sản xuất liên tục — chứ không phải chỉ là thử nghiệm trong phòng thí nghiệm. Các đầu kim thăm dò nhỏ nhất và đường kính trục siêu nhỏ được sản xuất hàng ngày.
Đội xe Thụy Sĩ gồm 43 máy móc phục vụ công suất
Với 43 máy tiện kiểu Thụy Sĩ trên các nền tảng CITIZEN, Tsugami, YM và Nomura, chúng tôi có thể đáp ứng được sự tăng đột biến về khối lượng sản xuất mà không làm giảm thời gian giao hàng. Công suất hơn 1 triệu chi tiết/tháng cho các chương trình gia công tự động (ATE) khối lượng lớn.
Chứng nhận kép IATF 16949 + AS9100D
Việc đáp ứng cả tiêu chuẩn chất lượng ô tô và hàng không vũ trụ chứng tỏ hệ thống quản lý chất lượng được kiểm soát quy trình, có khả năng PPAP, được ghi chép đầy đủ và thường xuyên được các nhà cung cấp OEM bán dẫn đánh giá cao.
Độ hoàn thiện bề mặt lỗ khoan được kiểm tra trên mỗi lô hàng.
Độ nhám bề mặt bên trong đầu dò Ra ≤ 0.2 μm được đo bằng máy đo độ nhám đã hiệu chuẩn — chứ không phải là giả định. Nếu không đo được, sản phẩm sẽ không được xuất xưởng. Tiêu chuẩn ISO 10012 quy định hệ thống hiệu chuẩn thiết bị của chúng tôi.
Kinh nghiệm về BeCu và hợp kim đặc biệt
Gia công đồng beryllium đòi hỏi quy trình xử lý tuân thủ tiêu chuẩn OSHA, dụng cụ chuyên dụng và sự phối hợp trong quá trình tôi cứng. Nhóm của chúng tôi thường xuyên gia công BeCu C17200 và C17510 — với kiểm chứng XRF và kiểm soát môi trường theo tiêu chuẩn ISO 14001.
Quan hệ đối tác DFM, không chỉ là một xưởng gia công đơn thuần.
Chúng tôi xem xét kỹ lưỡng mọi bản vẽ mới về khả năng gia công theo tiêu chuẩn Thụy Sĩ trước khi báo giá. Các vấn đề thường gặp — xung đột khe hở bạc dẫn hướng, các chi tiết phía sau khó tiếp cận, sự tích lũy dung sai — được phát hiện sớm, giúp tiết kiệm thời gian thiết kế lại.
Yêu cầu báo giá gia công CNC Thụy Sĩ
Hãy tải bản vẽ của bạn lên và chúng tôi sẽ phản hồi trong vòng 24 giờ với phản hồi về thiết kế cho sản phẩm hoàn thiện (DFM) và báo giá chi tiết. Không cần thỏa thuận bảo mật (NDA) để bắt đầu.